电子特气是半导体制造产业的重要基础原料,被广泛应用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗等工艺中。

从晶圆加工到最后器件的封装,几乎每个环节都离不开电子特气,所以,它被誉为半导体制造的“血液”。

芯片生产流程中的电子气体应用

对于参与半导体制造全过程的电子气体来说,若纯度或净度不达标,轻则使得下游产品质量不过关,重则扩散污染整条产品线,造成产品全部报废。

因此,保证这些气体的品质在生产环节中十分重要。

半导体的生产约有450道工艺,使用50余种不同的气体,这些气体通常分为两类:大宗气体(Bulk Gas)和特种气体(Specialty Gas)

其中Gistmini过滤器适用于Filter C、D、H

1、大宗气体

对气体供应商来说就是相对简单的气体。被存放在硅片制造厂外面大型存储罐里,常分为惰性(Ar、He)、还原性(H₂)和氧化性(O₂)三种气体

2、特种气体

指供应量相对较少的气体。特种气体是半导体制造中所必须的材料,大多数是有害的,比大宗气体更危险,如HCl和Cl2具有腐蚀性,硅烷会发生自燃,砷化氢和磷化氢有毒,WF6具有极高的活性。

一般而言,半导体制造对大宗气体的纯度要求达到3N,而对电子特气的纯度要求则达到了5N-6N(N 指纯度百分比中9的个数,例如6N 表示99.9999%),同时还要求将金属元素净化到10-9级至10-12级。 

这也注定了在生产过程中,我们需要将尺度极小的“微”污染拒之门外。

所以,在超纯气体或电子气体供气系统中,为了脱除由于振动或气流冲击所造成的脱落粒子,在使用气体前需要安装气体过滤器。

气体标准

Particle Test方法在于气体管路使用N₂吹净后,以管路的末端作为取样点,再和仪器取样气体入口端衔接,开始作测试。

当N₂气体流经仪器内部检测Particle 的雷射光轮感应器,并经电子式算出的量,每10分钟为一个Cycle (周期),即10分钟正好流过1立方英尺的气体,仪器会自动打印出粒径的Particle,每种共有几颗。

除业主有特别规定外,一般测试流程为3个Cycle,3 Cycle完成后,会再打印出一张总平均数之值。

新品上市

3nm Gistmini超纯气体滤芯

由于超纯气体的品质决定着元件的性能、质量与可靠性,所以根据电子级气体超纯净化的需求,飞潮专门设计Gist和Gistmini超纯气体滤芯,其过滤精度可达3nm。

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316L不锈钢电子级抛光外壳,设备结构紧凑,强度高,与所有类别的半导体工艺气体具有良好的兼容性,适合各种高温高压气体过滤,推荐用于惰性和反应性气体。

产品特点:

1、优异的化学相容性

2、超高颗粒拦截效率

3、100%氦气泄漏测试

4、高通量,低压损

和Gist相比,Gistmini拥有更小的尺寸,适用于小流量(≤60slpm)的电子特气及点位气体过滤,以及非腐蚀性气体,部分干燥的腐蚀性超纯气体的过滤。

关于飞潮

飞潮有着20多年的过滤分离经验,为半导体行业提供高效、安全、可靠的过滤服务与产品,帮助客户优化工艺流程,实现安全生产,稳定运营和价值创新。